微流控缺陷檢測產(chǎn)品簡介
1、nSpec Macro是一種快速自動晶圓宏觀檢測儀，無論您有多特殊的晶圓檢查要求，我們都能提供一系列解決方案來讓您獲得快速的結(jié)果。這種緊湊的系統(tǒng)設(shè)計(jì)用于對200 mm以下的晶圓進(jìn)行高通量宏觀檢查。 以毫米為單位，nSpec Macro可以自動檢測并量化從50到100微米的眾多缺陷，這取決于視場或晶圓尺寸。
2、nSpec Macro可以照亮樣品的整個(gè)面，或設(shè)置照明角度和/或離散照明矢量。 明場，暗場，正交和可配置的傾斜照明角度與可單獨(dú)配置的LED，配合使用可調(diào)節(jié)照明的強(qiáng)度，顏色和位置。
3、該系統(tǒng)會自動導(dǎo)出CSV文件，并且與SECS / GEM兼容，也可以根據(jù)客戶要求進(jìn)行定制。
自動化晶圓處理功能
所有Nanotronicsn Spec Macros都裝有滿足行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)要求的晶圓裝載機(jī)。Nanotronics創(chuàng)造了末端執(zhí)行器，可將整個(gè)單個(gè)晶圓和/或帶有的晶圓加載進(jìn)去。每個(gè)末端執(zhí)行器都是根據(jù)客戶的需求設(shè)計(jì)的。
光學(xué)特性
暗場照明模式照明角度：0度
傾斜照明模式照明角度：0至80度
明場照明模式照明角度：90度
正交照明模式照明角度：90度（通過鏡頭）
晶圓裝載機(jī)
一次運(yùn)行1個(gè)卡夾：標(biāo)準(zhǔn)H型卡夾
標(biāo)準(zhǔn)晶圓尺寸：50、75、100、150或200mm
控制軟件
配方易于配置，并可以根據(jù)需要保存?？梢园错樞蜻M(jìn)行多次掃描，并且在照射角度，強(qiáng)度和波長方面具有*的靈活性。
系統(tǒng)參數(shù)
重量：62kg
尺寸（寬x深x高）：67厘米 x 74厘米 x 65厘米
蕞小真空要求：20 in.Hg
電源：110v / 220v，3.5安培
產(chǎn)品型號：Nanotronics nSpec Macro