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UltraShape - 晶圓關(guān)鍵尺寸測量系統(tǒng)
                
UltraINSP - 晶圓表面缺陷檢測系統(tǒng)
                
MESA系列 磁性測量系統(tǒng)
                
WLA-5000 - 磁傳感器晶圓水平儀
                
WLA-3000 晶圓水平儀
                
LAS系列組裝和檢查紅外系統(tǒng)  定心儀(偏心儀)
                
UltraINSP 晶圓表面缺陷檢測系統(tǒng)
                
UltraFilm薄膜測量系統(tǒng)
                
FR-Ultra NIR N3 晶圓厚度測量系統(tǒng)
                
QuickOCT-4D--膜厚輪廓儀
                
QuickPRO-RPS--旋轉(zhuǎn)剖面儀
                
QuickPRO-3D--表面輪廓儀
                
QuickOCT-4D —膜厚輪廓儀
                
iFocus晶圓檢測系統(tǒng)
                
EVG720自動(dòng)化SmartNIL紫外納米壓印光刻系統(tǒng)
                
FR-Mic:全自動(dòng)帶顯微鏡多點(diǎn)測量膜厚儀
                
FR-InLine-在線薄膜厚度測量儀
                
FR-Scanner AIO-Mic-RΘ150-自動(dòng)化高速薄膜厚度測量儀